工业纯水装备是用于工业生产用水水的纯水制取装置。工业用纯水机可以用于：饮用水、瓶装水、食物工业用水、半导体工业、细腻化工、光学工业用水、电镀用水、医药用水、透析医疗用水、取代种种蒸馏水及超纯水供水等。
一套完整的水处理系统由预处理系统、精处理系统、后处理系统三大部分组成。原水经PP滤芯（砂棒过滤器）、活性炭单位、软水器单位等预处理系统后，使水中的悬浮物（颗粒物质）、胶体、硬度、微生物等杂质含量大大降低，以减轻后续的反渗透、电除盐等精处理系统的处理负荷，延伸其使用寿命。
活性炭的比外貌积很大，且充满了孔径极�。�10～30埃）的微孔，胶体、余氯、铁离子等有显着的吸附滤除作用。台式纯水机、清水器等常用10寸/20寸活性炭滤芯。大型纯水机组常用玻璃钢/不锈钢材质的活性炭滤罐。
反渗透膜孔径小到纳米级（1纳米=10-9米），在一定的压力下，H2O分子可以通过RO膜，而源水中的无机盐、重金属离子、胶体、细菌、病毒等杂质无法通过RO膜，从而使可以透过的纯水和无法透过的浓缩水严酷区脱离来。
RO膜对高价离子、胶体、细菌及分子量大于300 dalton的物质（包括热源）去除率高达99%以上，对低价离子（NA+、K+）去除率达95%，当源水电导率<3505μs/cm，RO纯水电导率通常≤55μs/cm，切合国家三级用水标准。再经由原子级离子交流柱循环过滤，出水率可达18.2MΩ.cm。 反渗透法是可抵达90%～99%杂质去除率经济的要领，同时也是试剂级超纯水系统好的前处理要领。
备注：RO膜的过滤能力受水温影响较大，适合的水温为25℃～30℃，温度下降1℃，RO膜的产水量约下降3%，当水温靠近0℃时，RO膜将阻止产水。